AN-H-016
Bestimmung von Essigsäure-, Phosphorsäure- und Salpetersäuremischungen
Zusammenfassung
Bestimmung von Phosphorsäure-, Salpetersäure- und Essigsäuremischungen, welche zum Ätzen von Aluminium in der Fertigung von Halbleiterbauelementen benutzt werden.