Ben Greenwood, Senior Manager im Chemielabor von Micron Technology, und Dariana Martinez, Produkt-Applikations-Spezialistin bei Metrohm USA, sprechen über die Herausforderungen der Analyse der Wasserqualität in der Halbleiterindustrie. Erfahren Sie, wie die Online-Ionenchromatographie eine wichtige Rolle bei der Erfüllung strenger Reinheitsanforderungen und der Gewährleistung der Prozesssicherheit spielt.
In der Halbleiterfertigung ist Reinstwasser (ultra-pure water, UPW) unerlässlich. Seine Reinheit aufrechtzuerhalten ist eine ständige Herausforderung, vor allem, da die Anlagen aufgrund der weltweiten Knappheit auf Wasserrecycling umsteigen. Die Umwandlung von Abwasser in UPW erfordert eine strenge Kontrolle, und die kontinuierliche Überwachung ist entscheidend. Die Online-Ionenchromatographie bietet eine hochempfindliche Analyse von ionischen Spurenverunreinigungen und gewährleistet so sowohl die Qualität des recycelten UPW als auch die Qualität der Halbleiterendprodukte.
Erfahren Sie mehr über unsere IC-Prozesslösung:
Online-Überwachung von Kupferkorrosionsinhibitoren im Kühlwasser