BWT-4902
Raman-Analyse der Kristallinität von Silizium
Zusammenfassung
Die Raman-Spektroskopie mit einer Laseranregung bei 532 nm wird verwendet, um den kristallinen und amorphen Anteil von Mischphasen-Siliziumschichten zu untersuchen.
BWT-4902
Die Raman-Spektroskopie mit einer Laseranregung bei 532 nm wird verwendet, um den kristallinen und amorphen Anteil von Mischphasen-Siliziumschichten zu untersuchen.